硅片石墨舟夾具留意
jcshimo
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2021-08-11 14:44:00
硅片石墨舟夾具留意:
1、組裝石墨舟最外邊是外舟頁,第二片為次外舟頁,第三片為直角頁,第四片為圓角頁,第五片是圓角,以此類推,圓直相間。
2、第十一片是電極頁,電極的方向是片子歪斜的方向,裝舟塊時確定舟腳的方位。陶瓷棒和陶瓷環(huán)用來固定舟頁間方位,坐落中間;
3、碳纖維棒固定石墨塊與舟頁方位,接受石墨舟分量,坐落兩端,舟號的方位在電極方向?qū)γ妗?/p>
4、留意
(1)石墨舟易碎,輕拿輕放;
(2)留意工藝點方向一致,留意電極方向、電極頁以及電極塊的方位
(3)工藝卡點的破損;
(4)陶瓷棒和碳纖維棒要以雙螺母緊固。